By Dr. Michael Kohler(auth.)
Content:
Chapter 1 Einfuhrung (pages 1–13):
Chapter 2 Molekulare Grundlagen (pages 14–36):
Chapter three Mikrotechnische Grundlagen (pages 37–99):
Chapter four Herstellungsverfahren fur Nanostrukturen (pages 100–159):
Chapter five Nanotechnische Strukturen (pages 160–223):
Chapter 6 Charakterisierung von Nanostrukturen (pages 224–240):
Chapter 7 Nanotransducer (pages 241–279):
Chapter eight Technische Nanosysteme (pages 280–292):
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Geeignete synthesechemische Kandidaten finden sich im Bereich der supramolekularen Chemie, vor allem bei versteiften und verbundenen Makrocyclen. Besonders interessant sind in diesem Zusammenhang auch substituierte Metallcluster, Nanoröhren und andere Nanopartikel. Diese bringen durch die starken Bindungen zwischen den Atomen innerhalb des Clusters oder Partikels eine extrem hohe Steifigkeit mit sich, so daß alle Oberflächenbindungen bezüglich der Beweglichkeit miteinander stark gekoppelt sind.
Strukturierte planarisierende Schichten über reliefbehaftetem Untergrund Nach dieser Definition werden auch Strukturelemente als Schicht aufgefaßt, deren Material räumlich nicht zusammenhängt. Dabei ist es sekundär, ob die Schicht geschlossen aufgebracht und nachträglich strukturiert wurde („Subtraktiver Prozeß“) 39 40 3 Mikrotechnische Grundlagen Abb. 16 Varianten von geschlossenen und strukturierten Schichten auf ebenen und reliefbehafteten Oberflächen (Querschnitt) oder ob die Schichtelemente gleich in getrennter Form auf dem Substrat abgeschieden wurden („Additiver Prozeß“).
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